目前半导体制造业对全氟橡胶有的需求。
例如,无水蚀刻法要求门和窗,以及排气阀都能耐受腐蚀性很高的化学品;在光学掩蔽过程中,滤光器、电耦和阀门所用的密封垫也存在类似的需要;等离子CVD(即化学气相淀积)过程中,真空舱、箱盖等所用的密封垫都必须能耐等离子体破坏;在阴极真空和喷镀方法中,要求密封垫具有程度的漏气速率。
随着我国汽车、航空航天、炼油等行业的快速发展,目前国内氟橡胶的需求量呈现出快速增长趋势。资料显示,自20世纪90年代中期以来,国内氟橡胶消费量年均增长速度高达316%;进入21世纪之后,个别年份年消费增长速度近50%。
2001年国内氟橡胶的消费量约为1500t,但2006年需求量达到6800t,2010年国内氟橡胶的市场容量预计将上升到10000t左右。与*增长的消费量相比,目前国内氟橡胶的生产能力远不能满足国内市场需求,以至于不得不依靠从国外进口。
日本信越公司开发的液体氟弹性体(SHIN-EISVSIFEL系列)已经商品化,是一种主链含有全氟醚结构,可在150℃加工,并具有优良耐油、耐溶剂、耐低温性能的氟橡胶。日本住友3M公司推出3种耐甲醇、氯类高含氟聚合物——Fluorel三元聚合型氟橡胶;FT-2350、FT-2481和F-
2690,是偏氟乙烯、六氟丙烯、四氟乙烯共聚物,具有良好的加工性能,耐老化性能优异,适合于制作机械、化工设备的密封件。
氟橡胶属特种橡胶,具有、无毒、不燃、耐热、耐氧化、耐油、耐化学品等优异性能,在国内主要用于汽车和航空航天领域。目前国内汽车零部件用氟橡胶材料的主要制品包括油封、发动机膜片、发动机缸套阻水圈、机油滤清器单向阀、加油口盖等。随着无铅汽油和电喷装置等在汽车上的使用,燃油胶管的内胶层也已逐步用氟橡胶代替了丁橡胶。由我国自主开发出的氟橡胶为内层的胶管目前已在桑塔纳、奥迪、富康等汽车上广泛使用。除汽车工业外,氟橡胶密封件被用在钻井机械、炼油设备、天然气脱硫装置上。同时,在宇航、建材、机械等多个领域氟橡胶也有非常重要的应用。